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全自動臺階儀 JS2000B

產(chǎn)品簡介

國產(chǎn)全全自動臺階儀 JS2000B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-10-21
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:1124
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國產(chǎn)全自動臺階儀 JS2000B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。

應(yīng)用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計劃任務(wù)和多點掃描

▲ 批量測試晶圓,批量處理數(shù)據(jù)等、

系統(tǒng)組成

▲ EFEM(SMIF+ROBOT+ALINGER)

▲ JS200B

選配品

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

▲ FFU模塊

▲ 靜電消除模塊

▲ E84接口

軟件界面

全自動臺階儀 JS2000B


掃描圖

全自動臺階儀 JS2000B

                                                                                                   18nm樣品

全自動臺階儀 JS2000B

                                                                                                  68um樣品

技術(shù)參數(shù)



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