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產品簡介
ZYGO白光干涉儀:高精度表面測量ZYGO白光干涉光學輪廓儀為精密制造行業(yè)提供可靠的表面測量方案,支持快速、非接觸式檢測,提升質量控制效率。
ZYGO白光干涉光學輪廓儀 ZYGO白光干涉儀采用*的白光干涉技術,通過測量光程差來獲取樣品表面的三維形貌和粗糙度信息。其非接觸式測量方式確保了樣品的完整性和測量的可靠性。設備支持多種樣品臺和自動聚焦功能,便于靈活調整測量參數(shù) ZYGO白光干涉儀:高精度表面測量
產品性能
•測量范圍:0.1nm至10mm(垂直方向)
•橫向分辨率:最高可達0.5μm
•重復性:優(yōu)于0.1%
•支持多種測量模式:臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材與結構
儀器主體采用高穩(wěn)定性鋁合金框架,光學部件選用低熱膨脹系數(shù)玻璃,確保長期測量穩(wěn)定性。載物臺采用防震設計,減少環(huán)境振動干擾。
參數(shù)表
型號 | 垂直分辨率 | 最大掃描范圍 | 適用樣品 |
|---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微結構 |
用途
•半導體晶圓檢測
•光學鏡面質量分析
•MEMS器件形貌測量
•精密機械加工表面評估
ZYGO白光干涉儀:高精度表面測量 ZYGO白光干涉光學輪廓儀
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