ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀 ZYGO白光干涉儀ZYGO白光干涉儀采用閉環(huán)反饋壓電陶瓷和高線性電容傳感器，確保測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)性。設(shè)備支持多種物鏡選擇，適用于不同放大倍率和工作距離的需求。設(shè)備操作簡(jiǎn)便，支持多種軟件分析工具，便于用戶(hù)快速完成測(cè)量和分析 ZYGO白光干涉儀：高精度光學(xué)測(cè)量

產(chǎn)品性能

• •測(cè)量范圍：0.1nm至10mm（垂直方向）

• •橫向分辨率：最高可達(dá)0.5μm

• •重復(fù)性：優(yōu)于0.1%

• •支持多種測(cè)量模式：臺(tái)階高度、粗糙度、薄膜厚度等

用材與結(jié)構(gòu)

儀器主體采用高穩(wěn)定性鋁合金框架，光學(xué)部件選用低熱膨脹系數(shù)玻璃，確保長(zhǎng)期測(cè)量穩(wěn)定性。載物臺(tái)采用防震設(shè)計(jì)，減少環(huán)境振動(dòng)干擾。

參數(shù)表

用途

• •半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)

• •光學(xué)鏡面質(zhì)量分析

  •MEMS器件形貌測(cè)量

• •精密機(jī)械加工表面評(píng)估

ZYGO白光干涉儀：高精度光學(xué)測(cè)量 ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀