澤攸深度測(cè)量的可靠選擇

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澤攸深度測(cè)量的可靠選擇
澤攸臺(tái)階儀憑借靈活的配置，可適應(yīng)多樣化的測(cè)量需求。其采用模塊化設(shè)計(jì)，傳感器與工作臺(tái)均可根據(jù)樣品特性更換，提升設(shè)備的適用范圍。

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更新時(shí)間：2025-10-21

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產(chǎn)品分類

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臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析

澤攸澤攸臺(tái)式掃描電鏡澤攸臺(tái)階儀澤攸探針臺(tái)及低溫系統(tǒng) 澤攸TEM原位方案(樣品桿) 澤攸SEM原位解決方案

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澤攸臺(tái)階儀憑借靈活的配置，可適應(yīng)多樣化的測(cè)量需求。其采用模塊化設(shè)計(jì)，傳感器與工作臺(tái)均可根據(jù)樣品特性更換，提升設(shè)備的適用范圍。澤攸深度測(cè)量的可靠選擇

設(shè)計(jì)上注重?cái)U(kuò)大測(cè)量范圍的同時(shí)保持測(cè)量精度，其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用伺服電機(jī)，運(yùn)行平穩(wěn)，掃描過(guò)程中觸針測(cè)力波動(dòng)小。

針對(duì)需要測(cè)量較深臺(tái)階的應(yīng)用場(chǎng)景，澤攸臺(tái)階儀展現(xiàn)出優(yōu)勢(shì)。其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用高精度滾珠絲杠，配合線性導(dǎo)軌，確保在長(zhǎng)行程掃描時(shí)的穩(wěn)定性。

測(cè)量范圍達(dá)到 0 - 500μm，垂直分辨率 0.1nm，能準(zhǔn)確測(cè)量深槽、厚涂層等結(jié)構(gòu)的臺(tái)階高度。掃描長(zhǎng)度最大 100mm，掃描速度 0.05 - 1mm/s，滿足大面積深臺(tái)階樣品的測(cè)量需求。

接觸式傳感器觸針采用碳化鎢材質(zhì)，硬度高、耐磨性好，針尖半徑 20μm，測(cè)力范圍 5 - 50mg，適合測(cè)量金屬、陶瓷等硬質(zhì)材料。設(shè)備配備溫度補(bǔ)償系統(tǒng)，可修正環(huán)境溫度變化對(duì)測(cè)量的影響，保證數(shù)據(jù)的一致性。

參數(shù)表顯示，其重復(fù)測(cè)量精度（3σ）優(yōu)于 1%，滿足精密測(cè)量的重復(fù)性要求。使用時(shí)需注意，測(cè)量深臺(tái)階時(shí)應(yīng)降低掃描速度，避免觸針與臺(tái)階邊緣發(fā)生碰撞。適用于模具型腔深度測(cè)量、厚膜電路臺(tái)階分析等領(lǐng)域。

澤攸深度測(cè)量的可靠選擇

上一個(gè)：澤攸多場(chǎng)景適配的臺(tái)階儀