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產品簡介
SensofarS?neox光學干涉儀使用與維護指南Sensofar?S?neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測量模式于一體的三維光學輪廓儀，適用于實驗室研發(fā)和工業(yè)生產線的表面形貌檢測。
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SensofarS?neox光學干涉儀使用與維護指南
開機準備：通電后預熱約 10?分鐘，使光學系統(tǒng)達到熱平衡，確保測量精度。
樣品裝載：將樣品放置在 XY 平臺上，使用平臺的傾斜調平功能將樣品法線對準光軸，必要時使用微調螺絲進行細微校正。
模式選擇：根據樣品的反射率或透明度，在軟件界面選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式；系統(tǒng)會自動調節(jié)光源強度和焦距。
參數設置：在 SensoSCAN 或 SensoMAP 軟件中設定掃描范圍、分辨率、幀率等參數；若使用 AI 自動路徑規(guī)劃，僅需標記關鍵測量點，系統(tǒng)即可完成全表面三維重建。
校準與驗證：每月使用標準校準片（如 NIST 參考平面）進行垂直分辨率校驗，確保 0.1?nm 級別的測量準確性。
數據處理：測量完成后，利用 SensoMAP 高級分析模塊計算 ISO?25178/ISO?4287 標準的粗糙度參數（Sa、Sq、Sz 等），并可直接生成符合行業(yè)規(guī)范的報告。
日常維護：保持光學窗口清潔，避免強酸堿或粉塵侵入；定期檢查光源壽命（LED 光源可使用約 50?000?h）并在需要時更換。
通過上述步驟，用戶可以在實驗室或生產線上實現快速、可靠的三維表面測量，充分發(fā)揮 S?neox 多模式技術的優(yōu)勢。
S?neox 通過共聚焦與白光干涉的技術融合，實現了亞納米級縱向分辨率與微米級橫向分辨率的平衡，并配備高速掃描、自動化測量和多行業(yè)適配的軟硬件生態(tài)。其模塊化的型號設計能夠滿足從基礎粗糙度檢測到半導體封裝分析的多層次需求。正確的使用流程和定期校準能夠進一步保證測量結果的可靠性，使其在科研、質量控制和生產線監(jiān)測等場景中發(fā)揮穩(wěn)定的作用。
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