Sensofar三維測量輪廓儀雙技術引擎解析?

產(chǎn)品簡介

Sensofar三維測量輪廓儀雙技術引擎解析?
Sensofar LIN系列是面向工業(yè)與實驗室環(huán)境設計的經(jīng)濟型三維光學輪廓儀。該系列儀器將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）兩種技術集成于一體，提供了在納米至毫米量程范圍內(nèi)進行非接觸式三維形貌測量的解決方案。其設計注重操作的便捷性和測量的穩(wěn)定性，適用于質(zhì)量控制、研發(fā)分析等多種場景。

產(chǎn)品型號：LIN

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：111

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

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Sensofar三維測量輪廓儀雙技術引擎解析

Sensofar LIN系列輪廓儀的多功能性，源于其集成的共聚焦和白光垂直掃描干涉（VSI）兩種核心技術。理解這兩種技術的工作原理和適用場景，有助于用戶充分發(fā)揮設備的性能。

共聚焦成像技術細節(jié)

共聚焦技術通過在光路中引入一個共軛針孔，來排除焦平面以外的雜散光。當物鏡對樣本進行垂直掃描時，只有處于焦點位置的光線能高效通過針孔被探測器接收。通過記錄每個橫向坐標點（x, y）上光強達到最大值時對應的垂直位置（z），就可以重建出樣本的三維形貌。這種技術對散射性強的表面（如粗糙金屬、噴砂表面）和具有陡峭側壁的結構有較好的測量效果，垂直量程也相對較大。

白光垂直掃描干涉（VSI）技術細節(jié)

VSI技術利用低相干性的白光作為光源。當物鏡進行垂直掃描時，從樣本表面反射的光束與從參考鏡反射的光束發(fā)生干涉。只有在光程差接近于零的很小范圍內(nèi)，才會出現(xiàn)清晰的干涉條紋。通過算法定位每個像素點干涉條紋對比度最高的z軸位置，即可確定該點的高度值。VSI技術在測量光滑、平坦或輕微起伏的表面時，能實現(xiàn)亞納米級的垂直分辨率，但在測量高陡坡或大高差結構時可能存在挑戰(zhàn)。

雙技術協(xié)同工作

LIN系列的軟件允許用戶根據(jù)應用需求靈活選擇技術。例如，對于既有大范圍粗糙區(qū)域又有局部光滑臺階的樣本，可以先使用共聚焦模式進行快速預覽和定位，再切換到VSI模式對關鍵區(qū)域進行高分辨率測量。這種組合策略兼顧了測量效率和細節(jié)分辨能力，擴展了儀器的應用范圍。

性能表現(xiàn)的考量因素

兩種技術的性能均受所選物鏡的數(shù)值孔徑（NA）影響。高倍物鏡（高NA）提供更高的橫向分辨率，但景深和垂直量程會減?。坏捅段镧R（低NA）則相反。LIN系列的自動物鏡轉盤使得在不同視場和分辨率下切換變得便捷。

總結

LIN系列所搭載的共聚焦和VSI技術，構成了互補的測量體系。用戶通過理解其原理，可以針對不同的樣本特征選擇適當?shù)募夹g模式，從而獲得有價值的表面三維數(shù)據(jù)。