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ZYGO 3D光學輪廓儀環(huán)境適配與維護規(guī)范解析

產品簡介

ZYGO 3D光學輪廓儀環(huán)境適配與維護規(guī)范解析
ZYGO ZeGage Pro 3D光學輪廓儀通過多維度環(huán)境適配設計與標準化維護流程,確保設備在復雜環(huán)境中的穩(wěn)定運行與精準測量,其環(huán)境控制能力與維護規(guī)范體現(xiàn)對測量精度的深度把控。

產品型號:ZeGage Pro
更新時間:2025-10-23
廠商性質:代理商
訪問量:106
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ZYGO 3D光學輪廓儀環(huán)境適配與維護規(guī)范解析

ZYGO ZeGage Pro 3D光學輪廓儀通過多維度環(huán)境適配設計與標準化維護流程,確保設備在復雜環(huán)境中的穩(wěn)定運行與精準測量,其環(huán)境控制能力與維護規(guī)范體現(xiàn)對測量精度的深度把控。

環(huán)境適配方案
設備支持多種環(huán)境控制方案以適應不同場景需求。恒溫恒濕罩可將溫度波動控制在±0.5℃、濕度波動控制在±2%,避免環(huán)境溫濕度變化對光學系統(tǒng)與測量結果的影響,尤其適用于生物材料、光學晶體等對環(huán)境敏感的樣品檢測。防震臺采用空氣彈簧結構,能有效過濾頻率在2Hz-100Hz范圍內的振動干擾,確保設備在生產車間、實驗室等振動環(huán)境中仍能保持納米級測量精度。密封外殼設計減少灰塵與污染物進入光學系統(tǒng),延長干涉物鏡、壓電掃描單元等核心部件的使用壽命。環(huán)境控制艙則可進一步實現(xiàn)溫度、濕度的精準調控,滿足高精度科研實驗的環(huán)境要求。


ZYGO 3D光學輪廓儀環(huán)境適配與維護規(guī)范解析

維護校準流程
用戶需遵循標準化維護流程以保障設備長期性能。每日需檢查光學鏡頭清潔度,使用專用鏡頭紙與清潔劑輕拭表面,避免灰塵影響干涉信號采集;每周執(zhí)行臺面平整度校準,通過軟件“臺面校準"功能修正臺面變形,確保測量基準精度;每月檢查光源亮度穩(wěn)定性,確保LED燈珠照明強度一致,避免因光源衰減導致的測量誤差;每季度需聯(lián)系專業(yè)人員進行設備全面校準,驗證垂直分辨率、重復性等核心參數(shù)是否符合標準,保障測量結果的可靠性。

模塊化配置升級
設備支持模塊化配置升級以適應多樣化檢測需求。用戶可根據(jù)需求增加特殊波長光源(如紫外光、紅外光),擴展測量臺面尺寸(最大支持500mm×500mm),或集成自動化輸送軌道,實現(xiàn)工件的自動抓取、定位與輸送,提升大批量檢測效率。這些配置升級使設備在光學制造、半導體、材料科學等領域的應用中更具靈活性,滿足從常規(guī)質檢到科研分析的多樣化需求。

綜上,ZeGage Pro通過科學的環(huán)境適配設計與規(guī)范的維護校準措施,實現(xiàn)測量精度與設備壽命的雙重保障,為科研與工業(yè)領域的表面形貌測量需求提供堅實支撐。

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