布魯克三維光學(xué)輪廓儀多場景適配解決方案

該設(shè)備以靈活性與擴展性著稱，適用于研發(fā)實驗室與工業(yè)生產(chǎn)線。其Z軸分辨率與放大倍率無關(guān)，確保不同視野下結(jié)果一致性。XY平臺行程150mm，支持大樣品或批量自動測量。樣品高度兼容≤100mm，反射率覆蓋0.05%至100%，從鏡面到粗糙表面均可穩(wěn)定測量。操作模式支持手動/半自動切換：手動模式適配少量多批次樣品，半自動模式預(yù)設(shè)參數(shù)實現(xiàn)一鍵測量，提升檢測效率。防震設(shè)計與15-30℃工作溫度范圍，保障車間環(huán)境下的數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。臺階高度重復(fù)性<0.2% 1sigma，確保同批次樣品測量一致性，降低誤判風(fēng)險。

機身采用輕量化合金框架，既保證結(jié)構(gòu)強度又便于移動，適配電子車間有限空間。防塵蓋板可拆卸設(shè)計減少粉塵附著，延長光學(xué)系統(tǒng)壽命。光學(xué)鏡頭選用高透光率玻璃，經(jīng)多層增透膜處理，有效降低不同材質(zhì)表面反射光干擾。樣品臺彈性硅膠夾具在固定樣品的同時，避免金屬夾具對PCB線路或陶瓷外殼的劃傷。操作面板采用防水防油設(shè)計，應(yīng)對車間油污、水漬濺落場景，延長設(shè)備使用壽命。基礎(chǔ)減震結(jié)構(gòu)無需額外搭建專業(yè)平臺，降低企業(yè)投入成本，適配普通工作臺面。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，該設(shè)備用于測量硅晶圓薄膜厚度、光刻膠臺階高度及CMP后表面平整度，為工藝參數(shù)優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。精密制造行業(yè)通過其檢測刀具刃口磨損、注塑模具表面狀態(tài)，建立磨損檔案以預(yù)測部件壽命。材料科學(xué)研究中，科研人員利用其表征復(fù)合材料、金屬合金、高分子薄膜的表面特性，分析涂層均勻性與厚度變化。學(xué)術(shù)教育領(lǐng)域，直觀的操作界面與可視化功能使其成為表面計量學(xué)教學(xué)演示設(shè)備。設(shè)備支持多區(qū)域自動測量功能，用戶預(yù)設(shè)測量區(qū)域后，儀器可自動完成數(shù)據(jù)采集，提升復(fù)雜測量效率。

布魯克三維光學(xué)輪廓儀多場景適配解決方案