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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點(diǎn)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點(diǎn)
正確的操作和定期的維護(hù)是保證ZeGage Pro長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行和測(cè)量數(shù)據(jù)可靠性的重要環(huán)節(jié)。

產(chǎn)品型號(hào):ZeGage Pro
更新時(shí)間:2025-10-23
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:77
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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點(diǎn)

正確的操作和定期的維護(hù)是保證ZeGage Pro長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行和測(cè)量數(shù)據(jù)可靠性的重要環(huán)節(jié)。

使用環(huán)境要求: 儀器應(yīng)放置在清潔、干燥、無腐蝕性氣體的環(huán)境中。工作臺(tái)需要穩(wěn)固,以盡可能減少振動(dòng)。環(huán)境溫度應(yīng)保持穩(wěn)定,避免陽光直射和空調(diào)出風(fēng)口的直接吹拂,劇烈的溫度波動(dòng)會(huì)影響測(cè)量的穩(wěn)定性。

開機(jī)與準(zhǔn)備: 開機(jī)前,檢查電源線和網(wǎng)線連接是否牢固。開機(jī)后,系統(tǒng)會(huì)進(jìn)行自檢,建議預(yù)熱一段時(shí)間(如30分鐘),讓光學(xué)系統(tǒng)和光源達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。每次測(cè)量前,檢查樣品臺(tái)是否清潔,樣品是否固定穩(wěn)妥。


ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點(diǎn)



測(cè)量流程簡(jiǎn)述:

  1. 放置樣品: 輕拿輕放,避免碰撞物鏡和樣品臺(tái)。

  2. 軟件操作: 打開MetroPro軟件,連接儀器。使用實(shí)時(shí)視頻找到待測(cè)區(qū)域。

  3. 選擇物鏡: 根據(jù)所需視野和分辨率,通過軟件切換合適的物鏡。

  4. 調(diào)整光強(qiáng): 使用軟件的自動(dòng)或手動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能,確保干涉條紋清晰且信號(hào)強(qiáng)度適中。

  5. 設(shè)置參數(shù): 設(shè)置掃描長(zhǎng)度和采樣間隔。對(duì)于不熟悉的樣品,可先使用自動(dòng)掃描功能。

  6. 開始測(cè)量: 點(diǎn)擊開始,儀器將自動(dòng)完成掃描。測(cè)量過程中應(yīng)避免觸碰工作臺(tái)。

  7. 數(shù)據(jù)分析: 測(cè)量完成后,在軟件中使用相應(yīng)的工具進(jìn)行處理和分析,并保存數(shù)據(jù)和報(bào)告。

日常維護(hù):

  • 清潔: 定期用軟毛刷或吹氣球清除樣品臺(tái)和儀器外部的灰塵。物鏡鏡片是精密光學(xué)部件,如有污染,需使用專用的鏡頭紙和清潔劑,按照規(guī)范輕輕擦拭。

  • 校準(zhǔn): 為保證測(cè)量精度,建議按照廠家推薦的周期,使用標(biāo)準(zhǔn)參考件(如階梯高度標(biāo)準(zhǔn)板)對(duì)儀器進(jìn)行垂直標(biāo)定和橫向標(biāo)定。

  • 存放: 長(zhǎng)期不使用時(shí),應(yīng)蓋上防塵罩,并將儀器存放在符合環(huán)境要求的地方。

遵循這些操作和維護(hù)指南,可以有效延長(zhǎng)ZeGage Pro的使用壽命,并確保其始終處于合適的工作狀態(tài)

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