Sensofar共聚焦白光干涉捕捉細(xì)微結(jié)構(gòu)輪廓儀

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Sensofar共聚焦白光干涉捕捉細(xì)微結(jié)構(gòu)輪廓儀
在檢測(cè)微小樣品（如芯片引腳、微型齒輪、光學(xué)薄膜）時(shí)，傳統(tǒng)輪廓儀常因分辨率不足，難以清晰呈現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)的表面結(jié)構(gòu)，而 Sensofar S lynx2 依托三維共聚焦白光干涉技術(shù)，能精準(zhǔn)捕捉這類細(xì)微特征，為精密檢測(cè)提供支持。

產(chǎn)品型號(hào)：S lynx2

更新時(shí)間：2025-10-24

廠商性質(zhì)：代理商

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三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar共聚焦白光干涉捕捉細(xì)微結(jié)構(gòu)輪廓儀

一、精細(xì)檢測(cè)：不放過微小表面細(xì)節(jié)

在檢測(cè)微小樣品（如芯片引腳、微型齒輪、光學(xué)薄膜）時(shí)，傳統(tǒng)輪廓儀常因分辨率不足，難以清晰呈現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)的表面結(jié)構(gòu)，而 Sensofar S lynx2 依托三維共聚焦白光干涉技術(shù)，能精準(zhǔn)捕捉這類細(xì)微特征，為精密檢測(cè)提供支持。

比如檢測(cè)芯片上直徑僅幾十微米的鍵合線時(shí)，S lynx2 可清晰呈現(xiàn)鍵合線的弧度、表面光滑度，甚至能識(shí)別線體上細(xì)微的劃痕或凸起，這些細(xì)節(jié)直接關(guān)系到芯片的導(dǎo)電性能與穩(wěn)定性。傳統(tǒng)設(shè)備可能需要放大多次才能勉強(qiáng)觀察，而 S lynx2 通過優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)，一次掃描就能生成鍵合線的 3D 形貌圖，直觀展示其表面狀態(tài)，不用反復(fù)調(diào)整焦距或切換視野。

針對(duì)光學(xué)薄膜檢測(cè)，S lynx2 同樣表現(xiàn)出色。幾微米厚的增透膜，其表面平整度與厚度均勻性會(huì)影響光學(xué)性能，設(shè)備可通過非接觸方式，同時(shí)獲取薄膜的厚度數(shù)據(jù)與表面粗糙度信息，避免接觸測(cè)量導(dǎo)致的薄膜損傷。檢測(cè)時(shí)，軟件會(huì)自動(dòng)生成厚度分布曲線，標(biāo)注厚度偏差較大的區(qū)域，幫助技術(shù)人員判斷薄膜沉積工藝是否需要調(diào)整。

二、用材與結(jié)構(gòu)：穩(wěn)定支撐精細(xì)檢測(cè)

為保障精細(xì)檢測(cè)的穩(wěn)定性，S lynx2 在核心部件用材與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上做了針對(duì)性優(yōu)化。光學(xué)鏡頭采用高透光率光學(xué)玻璃，搭配多層鍍膜工藝，減少光線反射損耗，確保成像清晰；鏡頭表面覆蓋防刮涂層，日常清潔時(shí)不易留下劃痕，延長(zhǎng)使用壽命。

設(shè)備機(jī)身采用剛性合金框架，能有效減少外界振動(dòng)對(duì)檢測(cè)的影響 —— 比如在車間環(huán)境中，周圍設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的輕微振動(dòng)，不會(huì)導(dǎo)致 S lynx2 的檢測(cè)數(shù)據(jù)偏移，無需額外搭建防震平臺(tái)。樣品臺(tái)選用耐磨陶瓷材質(zhì)，表面光滑平整，放置樣品時(shí)不易產(chǎn)生劃痕，同時(shí)具備良好的穩(wěn)定性，即使微小樣品輕微偏移，軟件的 “自動(dòng)定位" 功能也能快速修正。

光源模塊采用長(zhǎng)壽命白光 LED，發(fā)光穩(wěn)定且光譜范圍適配共聚焦檢測(cè)需求，正常使用下多年無需更換，減少耗材支出與停機(jī)維護(hù)時(shí)間。

三、基礎(chǔ)參數(shù)與使用說明

（1）核心參數(shù)表

參數(shù)類別	參數(shù)內(nèi)容
檢測(cè)范圍	橫向最大 50mm×50mm，縱向 0-10mm
分辨率	橫向最高 0.1μm，縱向最高 0.01μm
光源類型	白光 LED（壽命≥10000 小時(shí)）
樣品臺(tái)承重	最大 5kg
適用樣品類型	金屬、塑料、玻璃、薄膜等

（2）基礎(chǔ)使用步驟

樣品準(zhǔn)備：將樣品輕輕放在樣品臺(tái)中心，確保樣品表面無明顯污漬（若有污漬，用無塵布輕輕擦拭）；

參數(shù)設(shè)置：打開配套軟件，根據(jù)樣品材質(zhì)（如金屬、玻璃）選擇預(yù)設(shè)的檢測(cè)模式，軟件會(huì)自動(dòng)匹配合適的光源強(qiáng)度與掃描速度；

定位與掃描：點(diǎn)擊 “自動(dòng)對(duì)焦" 按鈕，設(shè)備自動(dòng)定位樣品檢測(cè)區(qū)域，確認(rèn)區(qū)域無誤后，點(diǎn)擊 “開始掃描"，掃描過程中無需手動(dòng)干預(yù)；

數(shù)據(jù)查看與導(dǎo)出：掃描完成后，軟件自動(dòng)生成 3D 形貌圖與檢測(cè)數(shù)據(jù)，可通過 “標(biāo)注工具" 標(biāo)記重點(diǎn)區(qū)域，數(shù)據(jù)支持導(dǎo)出為 Excel、PDF 格式，方便后續(xù)分析。

無論是電子行業(yè)的微型元件檢測(cè)，還是光學(xué)行業(yè)的薄膜研究，Sensofar S lynx2 都能通過精細(xì)的檢測(cè)能力與穩(wěn)定的性能，成為精密測(cè)量場(chǎng)景中的實(shí)用工具，幫助用戶清晰掌握微小樣品的表面狀態(tài)。Sensofar共聚焦白光干涉捕捉細(xì)微結(jié)構(gòu)輪廓儀

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