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化學(xué)機械平面化（CMP）是半導(dǎo)體、硬盤和LED晶片制造行業(yè)的關(guān)鍵過程，用于實現(xiàn)基板晶片所需的平整度。平面化對于確保結(jié)構(gòu)內(nèi)多層互連的功能性以及在保持均勻性的同時減少晶片厚度至關(guān)重要。隨著特征尺寸繼續(xù)縮小和集成級別繼續(xù)提高，CMP預(yù)計在未來微電子設(shè)備的發(fā)展中將扮演越來越重要的角色。通過精確控制表面地形和材料屬性，CMP可以實現(xiàn)新型的設(shè)備架構(gòu)，如3D堆疊、finFETs、納米線和量子點。此外，化學(xué)機械平面化還可以通過克服傳統(tǒng)蝕刻技術(shù)的限制，促進新材料的集成，如高k電介質(zhì)、低k電介質(zhì)...

研究重點是改善類金剛石（DLC）涂層的摩擦力學(xué)性能。這類涂層采用新型PVD技術(shù)高功率脈沖磁控濺射（HiPIMS），通過正脈沖沉積在工具鋼上。這些涂層因其優(yōu)異的耐磨性、極低的摩擦系數(shù)、*高的硬度或生物相容性而受到業(yè)界的高度關(guān)注。研究的目的是提高DLC涂層在不同鋼基材上的附著或耐磨性等摩擦力學(xué)性能。我們期望借助Sensofar的3D光學(xué)輪廓儀，在更高質(zhì)量的2D和3D圖像中以更高的測量精度進行表面表征。我們測量了有涂層和無涂層圓形樣品和平面樣品。使用不同的鋼材和陶瓷作為基材。使DL...

在過去十年中，增材制造因其相對于傳統(tǒng)減材和等材方法的優(yōu)點而被工業(yè)界采用。對于創(chuàng)造復(fù)雜幾何形狀來說，增材制造所提供的可能性使用傳統(tǒng)制造方法是無法實現(xiàn)的。然而，其存在一些缺點，如缺乏標(biāo)準(zhǔn)化、難以控制生產(chǎn)出樣品的尺寸和表面性質(zhì)以及在大多數(shù)情況下需要后續(xù)處理步驟等。在本研究中，我們希望通過測量形狀和表面紋理，來測量單個參數(shù)在制造部件最終性能上可能產(chǎn)生的改變。研究1.作為工藝參數(shù)（材料及其他）函數(shù)的形狀偏差對于本研究案例，我們使用“選擇性激光熔化”技術(shù)兩次生產(chǎn)相同的試樣，但是使用了兩種...

激光加工工藝通過進行毛化，產(chǎn)生表面摩擦、觸覺行為、潤濕特性等強化功能性能來開發(fā)設(shè)計表面。在皮秒和飛秒?yún)^(qū)域中使用超短脈沖持續(xù)時間的激光加工讓表面毛化具有高度精致的微幾何形狀、邊緣和效果。5軸激光加工使三維部件的無縫毛化能夠具有復(fù)雜的輪廓。SensofarSneox3D光學(xué)輪廓儀已成為MTC表面織構(gòu)開發(fā)的一個組成部分。在與一家汽車公司進行的合作實驗研究中（該研究為歐洲資助的Prometheus項目的一部分），在MTC開發(fā)了表面織構(gòu)，并使用飛秒激光系統(tǒng)將其應(yīng)用到汽車內(nèi)燃機缸套部分的...

激光技術(shù)非常適合用于制造模具中的微孔、微流控通道或甚至是強化鋼或硬金屬工具的微銑削。我們使用納秒和飛秒激光來實現(xiàn)出色的表面質(zhì)量。因此，激光技術(shù)用于功能性紋理，在其中雕刻的納米結(jié)構(gòu)增加了功能性。例如，我們可以創(chuàng)建減少摩擦或增加衍射、捕獲或擴散的結(jié)構(gòu)。其他結(jié)構(gòu)可能是超疏水甚至是抗菌的。對于功能性紋理，超短脈沖持續(xù)時間的激光，如飛秒激光，有兩個主要優(yōu)勢。首先，微銑削沒有毛刺，因此部件幾乎沒有熱效應(yīng)。結(jié)果是一個干凈、銳利的微銑削，具有明確的邊緣和高質(zhì)量的表面處理。其次，因為它是一個“...

在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，病理學(xué)研究是診斷疾病、指導(dǎo)治療和評估療效的重要手段。組織切片技術(shù)作為病理學(xué)研究的核心環(huán)節(jié)，對于疾病的診斷和研究具有重要意義。組織切片機作為一種關(guān)鍵的設(shè)備，為病理學(xué)家提供了高效、準(zhǔn)確的組織切片制作方法。本文將以該設(shè)備在病理學(xué)研究中的應(yīng)用實例為主題，詳細(xì)介紹其在各個領(lǐng)域的應(yīng)用情況。高分子切片機在腫瘤病理學(xué)研究中發(fā)揮著重要作用。通過對腫瘤組織的切片觀察，病理學(xué)家可以準(zhǔn)確地判斷腫瘤的類型、分級和侵襲性，為臨床制定個體化的治療方案提供依據(jù)。該設(shè)備在腫瘤病理學(xué)研究中的廣泛應(yīng)用...

QFN引腳*受歡*的集成電路封裝類型之一是QFN（Quad-flatNoLead,四扁平無引線）封裝，因為它能夠滿足包含消費電子、汽車以及高功率產(chǎn)品等在內(nèi)的眾多不同應(yīng)用中的需求。引腳的平整度是一個重要的待評估的元素。使用SensoVIEW的輪廓工具，我們可以很好的評估它。QFN導(dǎo)熱墊平整度(Sz)對于確保焊盤和芯片底部之間的良好連接以實現(xiàn)高性能的散熱至關(guān)重要。SensoVIEW可以直接進行平整度評估，但為了避免測量中由于干擾信號造成的可能出現(xiàn)的尖峰，我們應(yīng)用了調(diào)平和設(shè)置合適的...

引力波是時空織物中的波動。當(dāng)重要的宇宙事件如超新星爆炸或黑洞之間的相互作用發(fā)生時，所產(chǎn)生的引力波可以在地球上被探測到。經(jīng)過50年的科學(xué)研究和技術(shù)發(fā)展，我們已經(jīng)能夠感知引力波。先進維爾戈是一個巨大的邁克爾遜干涉儀，能夠探測到引力波（圖1）。它有兩條垂直的長達3公里的臂，懸掛的鏡子和其他必要的儀器來組成一個干涉儀。引力波通過懸掛的鏡子的運動來改變光束的光學(xué)路徑。光學(xué)路徑隨之改變，形成了干涉圖樣。圖1.先進維爾戈探測器的圖片。由EGOVirgo提供。巴塞羅那高能物理研究所（IFAE...